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20年專注等離子清洗機研發生產廠家
誠峰智造晶圓加工專用plasma設備表面處理中的應用：
晶圓加工是國內半導體產業鏈中資金投入較大的一部分，plasma設備目前在硅片代工中應用廣泛，誠峰智造也有專用晶圓加工等離子體設備。
中國晶圓代工部分在整個半導體產業鏈上投入了大量資金。具體地說，晶圓代工就是在硅晶圓上制造電路和電子元器件，這一步對于整個半導體產業鏈來說，技術比較復雜，而且投資領域比較廣。plasma設備主要用于去除晶片表面的微粒，徹底去除光刻膠和其他有機化合物，活化及粗化晶片表面，提高晶圓表面的浸潤性能等，等離子體設備在晶片表面處理方面的處理效果明顯，目前在晶圓加工中廣泛使用。
光刻晶圓工藝是整個晶圓代工過程中的一個重要工序。該方法的原理是將一層高光敏感度的阻光層覆蓋在晶圓片的表面，隨后將自然光穿透掩模照射到晶圓片表面，被自然光照射的阻光劑就會起反應，從而實現電路的移動。
晶圓刻蝕：就是把晶圓表面區域用光阻劑顯露出來的過程。它主要分為兩種：濕式蝕刻和干式。簡而言之，濕式刻蝕僅限于2微米的圖形尺寸，而干式刻蝕則用于更為精細、要求更高的電路。
晶圓級封裝等離子體處理是一種干式清洗方式，具有一致性好、可控制等特點，目前，plasma設備已逐步在光刻和刻蝕前后道工藝中推廣應用。
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