半導體領域有陶瓷封裝、引線鍵合等工藝需要用到等離子體設備：
        等離子體設備有很多種叫法，其中常見的是等離子清洗機、活化機、電漿機還有plasma清洗機等等，它的作用實際也不是清洗污垢什么的，主要是作用于對物體表面的改性，來提高產(chǎn)品表面的親水性、粘接力和附著力，例如玻璃、塑膠、硅膠等一些高分子材料在粘接前都需要用到等離子清洗機對表面進行處理，以達到粘接力符合產(chǎn)品的要求。
一、陶瓷封裝等離子體設備：
在陶瓷封裝中，通常采用金屬膏狀印刷電路板作為粘接區(qū)和封蓋區(qū)。在這些材料表面電鍍鎳和金之前，采用金徠等離子清洗，可以去除有機污染物，顯著提高鍍層質(zhì)量。
二、引線框架的等離子體設備表面處理
        引線框架的塑料封裝形式仍是微電子封裝領域的主流。主要采用導熱、導電、加工性能好的銅合金材料作為引線框架。銅氧化物和其他有機污染物會導致密封模具和銅引線框架之間的分層，導致密封性能差和包裝后的慢性漏氣。同時，也會影響芯片的鍵合和引線鍵合的質(zhì)量，保證引線框架的超清潔。保證包裝可靠性和成品率的關鍵。等離子處理可以達到超凈化和活化引線框架表面的效果。與傳統(tǒng)濕法清洗相比，成品率有較大提高。

三、芯片鍵合前等離子體設備處理
       芯片與封裝基板之間的鍵合往往是兩種性質(zhì)不同的材料。這種材料的表面通常是疏水性和惰性的，其表面粘結性能較差，粘結過程中容易出現(xiàn)空洞，給封裝芯片帶來很大的安全隱患。對芯片和封裝基板表面進行等離子處理，可以有效地提高表面活性，大大提高表面粘接環(huán)氧樹脂的流動性。提高芯片與封裝基板的粘接潤濕性，減少芯片與基板之間的分層，提高導熱系數(shù)，提高IC封裝的可靠性和穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品的使用壽命。在倒裝芯片封裝方面，對芯片和封裝載體進行等離子處理，不僅可以得到超清潔的焊接表面，而且大大提高了焊接表面的活性，可以有效防止虛焊，減少空洞，提高焊接可靠性，同時可以增加邊緣高度和填料的公差，提高包裝的機械強度，降低因不同材料熱膨脹系數(shù)在界面間形成的內(nèi)部剪切力，提高產(chǎn)品的可靠性和使用壽命。
四、等離子體設備引線鍵合
       集成電路引線鍵合的質(zhì)量對微電子器件的可靠性有著決定性的影響。粘合區(qū)域必須沒有污染物并且具有良好的粘合特性。氧化物和有機殘留物等污染物的存在將嚴重削弱引線鍵合的拉力值。傳統(tǒng)的濕法清洗不能完全去除或不能去除粘合區(qū)域的污染物。等離子清洗能有效去除鍵合區(qū)的表面污染，活化表面，顯著提高引線的鍵合張力。大大提高了封裝設備的可靠性。