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使用低溫等離子設備產生的溫度對材料的工藝的影響有多大？
低溫等離子設備的主機通常是13.56兆赫茲的射頻電源，因其產生的等離子致敏性高，能量比氣態分子高，而且溫度較低，一般輸出功率為1~2KW，大功率為5KW，小功率為數百W，多輸出功率為40KHz，中頻輸出功率為40KHz，與射頻電源相反，電漿相對密度較低，但功率大，能量高，大功率為幾十KW。真空低溫等離子設備放電射頻清潔器的溫度與平日屋內溫度也一樣，當然要是全天都在使用真空低溫等離子設備還是匹配上水冷卻系統。
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