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CRF plasma 等離子清洗機

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等離子清潔機對薄膜進行表面處理,提高薄膜附著力

       等離子清潔機對薄膜進行表面處理,提高薄膜附著力,近年來發現薄膜具有較優良的駐極化性能,鑒于它在硅集成電路工藝中的重要地位,人們希望薄膜能成為制備微型集成聲傳感器的(敏)感薄膜材料。有(機)聚合物駐極體材料具有良好的電荷儲存穩定性,目前市場上銷售的駐極體傳感器絕大部分全是有機聚合物駐極體薄膜傳感器。這類傳感器使用時限長、膜型、價格低廉,但全是體積較大的分立器件,無法滿足駐極體聲傳感器小型化、集成化的要求。

等離子清潔機

       隨著環境濕度的升高,薄膜的駐極化電荷容易丟失,薄膜具有良好的親水性,薄膜表面電導率隨環境濕度的升高而急劇增加,導致儲存在薄膜及近表面上的駐極化電荷容易衰減,這是制約其發展的主要因素。借助等離子清洗機可改變材料的表面特性,如提高表面的抗腐蝕性、抗(氧)化性、抗磨損特性等。
現在有了一種新的快捷、方便的物理處理方法,即利用等離子清潔機對薄膜作適當的處理,使薄膜在恒壓電暈極化后表現出良好的電荷存儲穩定性。用與集成電路工藝兼容的簡單物理方法,使熱生長二氧化硅表面具有疏水性,或在其近表面引人電荷陷阱,達到有效提高駐極化電荷穩定性的目的,為集成微音器的制備提供工藝基礎。
       等離子清潔機處理薄膜的工藝被廣泛用于半導體、電子、醫療、機械,印刷、汽車制造等行業,可處理的對象包括光學薄膜、復合薄膜、超導薄膜、聚酯薄膜、尼龍薄膜、塑料薄膜、金屬薄膜等等,主要目的是清洗有(機)物(活)化和粗化表面,改善表面張力,提高附著力。
       誠峰智造利用等離子清潔機處理技術,為手機觸摸屏、醫藥制品、動力鋰電池、FPC、石墨烯、聲學器件等行業客戶提供了相關的等離子表面處理工藝解決方案。處理過的樣品包括:PET離型膜、PTFE膜、PI覆膜、PEEK振膜、硅膠薄膜、動力電池電芯鋁膜、石墨烯薄膜等。

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